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製品情報

ドライ真空ポンプ

Dry Vaccum

世界初のウノザワ開発製品。

ウノザワが世界で初めて開発した多段ルーツ式ドライ真空ポンプは、クリーンバキューム、省電力が特徴です。
接ガス部に油や水を使用しないため、さまざまなメリットがあります。
ケミカルプロセスには凝縮性ガス・凝縮液に強いTRV、TRMシリーズ。
クリーンな高真空が必要な場合はクリーンプロセス用KTS、TSシリーズなど、豊富な実績を基盤に貴社に最適な製品をご提案致します。

TRVシリーズ

ケミカルプロセス用 縦型ドライ真空ポンプ

凝縮性ガスに強い真空ポンプとして開発した汎用ドライ真空ポンプです。
真空を利用する化学、医薬、食品、金属、光学等の工業用に最適です。

特徴Features

・液体に強い
吸引したミストや凝縮液を容易に排出・回収できます。

・省電力・高性能
省エネ設計された多段ルーツ式真空ポンプです。

・小さい設置面積
縦型構造のため据付面積が最小です。

・幅広い作動範囲
大気圧から到達圧力まで吸込圧力の制限がなく連続運転が可能です。

・少ない放熱
水冷式であるため周囲への放熱が少ない構造です。

・低振動・低騒音
ロータは厳密にバランスが取られ、
排気サイレンサが付属しています。

・特殊環境モータに対応
安全増防爆形、耐圧防爆形等のモータをご指定いただけます。

用途Usefulness

・真空蒸留、精製、濃縮
・真空乾燥、脱水
・真空脱気・脱泡
・真空冷却
・真空吸着搬送
・真空包装機
・真空成形装置
・溶剤回収
・その他凝縮性ガスを取扱う真空装置

安全性の注意Caution

この真空ポンプの排気可能なガスについては、弊社へお問い合せください。
特に、腐食性ガス、有毒ガス、爆発・発火性のガス、溶剤・粉体を含むガスについては、弊社へご相談ください。

カタログCatalog

TRMシリーズ

ケミカルプロセス用 ドライ真空ポンプ

長年の経験と数々の実績を持った汎用ドライ真空ポンプです。
真空を利用する化学、医薬、食品、金属、光学等の工業用に最適です。

特徴Features

・幅広い作動範囲
大気圧から到達圧力まで吸込圧力の制限がなく連続運転が可能です。

・省電力・高性能
省エネ設計された多段ルーツ式真空ポンプです。

・ミスト吸引可能
吸引したミストや凝縮液を排出・回収出来ます。

・低振動・低騒音
ロータは厳密にバランスが取られ、排気サイレンサが付属。

・特殊環境モータに対応
安全増防爆形、耐圧防爆形等のモータをご指定頂けます。

・特殊仕様に対応
材質ステンレス等の特殊仕様に対応可能です。

・水の汚染がない
ガスを間接的に冷却しますので冷却水が汚染することがありません。

・長期の連続運転
ロータは非接触で回転するため磨耗部がなく、長期の運転が可能です。

用途Usefulness

・真空蒸留、精製、濃縮
・真空乾燥、脱水
・真空脱気・脱泡
・真空冷却
・真空吸着搬送
・真空包装機
・真空成形装置
・溶剤回収
・その他凝縮性ガスを取扱う真空装置

安全性の注意Caution

この真空ポンプの排気可能なガスについては、弊社へお問い合せください。
特に、腐食性ガス、有毒ガス、爆発・発火性のガス、溶剤・粉体を含むガスについては、弊社へご相談ください。

カタログCatalog

KTSシリーズ

クリーンプロセス用 小型空冷ドライ真空ポンプ

「軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプ」です。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能です。

特徴Features

・空冷式
冷却水を必要とせずどこでも簡単に設置できます。

・軽量・コンパクト
主要材料にアルミ合金を採用し軽くてコンパクトなポンプを実現しました。

・低振動・低騒音
回転体であるロータは完全にバランスが取られ、排気音を消するためのサイレンサを内蔵しています。

・クリーンバキューム
ポンプ内部に摺動部のない多段ルーツ式真空ポンプのため、オイルの逆拡散やパーティクルの発生が無くクリーンな真空が得られます。

・水蒸気の排気
フラッシュエアー機構(大気によるパージ)により、ポンプ内部に水分が滞留することなく水蒸気を排気することができます。真空乾燥等の用途にご使用いただけます。

・長いメンテナンスサイクル
ポンプ内部に摺動部が無いため長期間の安定した運転が可能です。
このためメンテナンスサイクルが長く、メンテナンス費用を大幅に低減することができます。

・高い気密性
キャンドモーターを採用しているため、軸取り出し部がなく、高い気密性が保持されます。

用途Usefulness

・分析装置、理化学実験装置
・真空乾燥装置
・真空脱気・脱泡
・真空冷却
・ガス循環・回収装置
・ガス置換
・Heリークディテクタ
・電子ビーム加工機
・真空吸着搬送
・真空包装機
・プラズマクリーニング装置
・真空成形装置
・蒸着装置、スパッタリング装置
・ロードロック排気用
・クライオポンプの粗引・再生
・各種粗引き用、TMPのバックポンプ
・その他クリーンな真空装置

安全性の注意Caution

この真空ポンプは、クリーンな真空排気用途にご使用ください。
腐食性ガス、有毒ガス、爆発・発火性のガス、溶剤・粉体を含むガスの排気を行なわないでください。
排気可能なガスにつきましては、弊社へご相談ください。
この真空ポンプの運転可能な環境温度は5~40℃です。

カタログCatalog

TSシリーズ

クリーンプロセス用 大排気速度ドライポンプ

消費電力が少なく耐久性に優れた「クリーンプロセス用ECOドライ真空ポンプ」です。
オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。

特徴Features

・少ない消費電力
多段ルーツ式であるため消費電力を大幅に削減することが出来ます。

・高い耐久性
逆流冷却機構を持った多段ルーツ式であるため耐久性に優れています。

・クリーンバキューム
オイルの逆拡散やポンプ内部での発塵が在りません。

・低騒音・低振動
ロータは厳密にバランスが取られ、排気サイレンサが標準装備されています。

・少ない放熱
水冷式であるため周囲への放熱が少ない構造です。

・リークタイト構造
キャンドモータ採用によりリークレートはE10 - 6Pa・m3/sec以下です。

・長いメンテナンス周期
接ガス部には摺動部が無いため長期の連続運転が可能です。

用途Usefulness

・真空蒸着装置、スパッタリング装置
・ロードロック
・プラズマクリーニング装置
・シリコン単結晶引上げ装置
・電子ビーム加工機
・ガス循環・回収装置
・ガス置換
・真空成形装置
・真空吸着搬送
・真空包装機
・真空脱気・脱泡
・真空冷却
・分析装置、理化学実験装置
・クライオポンプの粗引・再生
・各種粗引き用、TMPのバックポンプ
・その他クリーンな真空装置

安全性の注意Caution

この真空ポンプは、クリーンな真空排気用途にご使用ください。
腐食性ガス、有毒ガス、爆発・発火性のガス、溶剤等を含むガスの排気を行なわないでください。
排気可能なガスにつきましては、弊社へお問合わせください。

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