ドライ真空ポンプ TSシリーズ

  • 特徴
  • 用途
  • 仕様・排気速度
  • 外形図

TSシリーズ 特徴

消費電力が少なく耐久性に優れた
「クリーンプロセス用ECOドライ真空ポンプ」 TSシリーズ

ウノサワTSシリーズ・ドライ真空ポンプは、水冷式の多段ルーツ式ドライ真空ポンプであるため、スクリュー式ドライポンプ等に比較して消費電力が大幅に少なく、耐久性に優れた『ECOドライ真空ポンプ』です。
ポンプ内部のロータは、ハウジングとの間に隙間を保って無接触で回転しているため、ポンプ内部の接ガス部には潤滑のためのオイルやシール水が必要ありません。このためクリーンな真空を作り出すことが出来ます。
ポンプ内部で発生した圧縮熱を効率的に外部へ放熱するための逆流冷却機構が採用されています。排気ガスの処理や回収が容易な内部逆流式を標準とし、吸引ガスに水分や粉体等を多く含む場合にその排気に有利な大気逆流式も選択頂けます。

少ない消費電力 多段ルーツ式であるため消費電力を大幅に削減することが出来ます。
高い耐久性 逆流冷却機構を持った多段ルーツ式であるため耐久性に優れています。
クリーンバキューム オイルの逆拡散やポンプ内部での発塵が在りません。
低騒音・低振動 ロータは厳密にバランスが取られ、排気サイレンサが標準装備されています。
少ない放熱 水冷式であるため周囲への放熱が少ない構造です。
リークタイト構造 キャンドモータ採用によりリークレートはE10 - 6Pa・m3/sec以下です。
長いメンテナンス周期 接ガス部には摺動部が無いため長期の連続運転が可能です。