ドライ真空ポンプ TSシリーズ

  • 特徴
  • 用途
  • 仕様・排気速度
  • 外形図

TSシリーズ 用途

TSシリーズドライ真空ポンプは、オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。

代表的なアプリケーション

  • 真空蒸着装置、スパッタリング装置
  • ロードロック
  • プラズマクリーニング装置
  • シリコン単結晶引上げ装置
  • 電子ビーム加工機
  • ガス循環・回収装置
  • ガス置換
  • 真空成形装置
  • 真空吸着搬送
  • 真空包装機
  • 真空脱気・脱泡
  • 真空冷却
  • 分析装置、理化学実験装置
  • クライオポンプの粗引・再生
  • 各種粗引き用、TMPのバックポンプ
  • その他クリーンな真空装置

安全性の注意

この真空ポンプは、クリーンな真空排気用途にご使用ください。
腐食性ガス、有毒ガス、爆発・発火性のガス、溶剤等を含むガスの排気を行なわないで下さい。
排気可能なガスにつきましては、弊社へお問合わせ下さい。